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2022

Lascaud, J.; Defforge, T.; Colin, L.; Meynier, C.; Alquier, D.; Gautier, G. und Certon, D. (2022): Integrating porous silicon layer backing to capacitive micromachined ultrasonic transducers (CMUT)-based linear arrays for acoustic Lamb wave attenuation. In: Journal of Applied Physics, Bd. 131, Nr. 10, 105107

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