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Veröffentlichungsdatum
Springe zu: 2017
Anzahl der Publikationen: 1
2017
Brand, Uwe; Gao, Sai; Engl, Wolfgang; Sulzbach, Thomas; Stahl, Stefan W.; Milles, Lukas F.; Nesterov, Vladimir und Li, Zhi
(2017):
Comparing AFM cantilever stiffness measured using the thermal vibration and the improved thermal vibration methods with that of an SI traceable method based on MEMS.
In: Measurement Science and Technology, Bd. 28, Nr. 3, 34010