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Zeitschriftenartikel
Chen, Y.; Hahner, D.; Trubetskov, M.; Schrameyer, S.; Sakiew, W.; Starke, K. und Pervak, V
(2020):
Comparison of magnetron sputtering and ion beam sputtering on dispersive mirrors.
In: Applied Physics B-Lasers and Optics, Bd. 126, Nr. 5, 82