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Veröffentlichungsdatum
Springe zu: 2016
Anzahl der Publikationen: 1
2016
Müller, R.; Biebel, O.; Hertenberger, R.; Lösel, P. und Schaile, O.
(2016):
Fast and precise large area metrology of micropattern detectors using laser distance sensors.
In: Nuclear instruments & Methods in Physics Research Section A-Accelerators Spectrometers Detectors and Associated Equipment, Bd. 824: S. 215-217